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真空等離子清洗機

真空等離子清洗機

更新時間:2021-10-15

訪問量:687

廠商性質:代理商

生產地址:

簡要描述:
VP-R係列真空等離子清洗機對標國際品牌,填補國內技術空白(專li:低溫真空石英腔體等離子清洗裝置),VP-R係列頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行30分鍾,腔體溫度不高於32℃,不損傷樣品,適用於微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶矽片、PET、二氧化矽等幾乎所有材料的PLASMA處理。

VP-R係列真空等離子清洗機

VP-R係列真空等離子處理儀對標國際品牌,填補國內技術空白(專li:低溫真空石英腔體等離子清洗裝置),VP-R係列頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行30分鍾,腔體溫度不高於32℃,不損傷樣品,適用於微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶矽片、PET、二氧化矽等幾乎所有材料的PLASMA處理。


VP-R係列真空等離子清洗機特點

 

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VP-R係列真空等離子清洗機優勢

01 Better Reliability,Better Operation

內置兩路氣路,氣體流量可調,無需再搭配氣體混合儀

zuan利軟件、操作簡易,智能化設計,避免誤操作

采用數字顯示壓力,實時觀察腔體壓力變化情況

中英文操作係統,觸摸屏控製,人機界麵友好

電流、電壓實時監測,確保儀器穩定安全運行

清洗時長可在觸摸屏設置,等離子處理時間精確到秒(s)

PLASMA處理結束後,自動泄壓,泄壓時長和大小可調;可通入氮氣泄壓

功率高、中、低三擋可調

02對標國際yi線品牌,填補國內技術空白

國內shou創,13.56MHz頻率用於PLASMA處理

性能bi肩國際一線產商,在控製自動化,人性化設計方麵國際領xian

通入氣體和泄壓是獨立通道互不幹擾;自動泄壓比手動泄壓更方便

腔體低溫,滿功率運行30分鍾腔體溫度不高於32°C,不損傷樣品

腔體材質為石英,不與等離子體反應,保證樣品不被汙染

13.56MHz等離子體處理對材料既有清潔、刻蝕、也有活化改性作用

等離子體從腔體四周發出,對樣品處理更均勻、更徹底

03細節把控,給用戶更好體驗

石英材質真空腔體不與等離子體產生反應,不會汙染樣品

配備的真空泵噪音和油氣汙染小,真空度高

真空泵與主機聯動,可在觸摸屏控製真空泵開啟/關閉

1.5米不鏽鋼波紋管,比橡膠管更耐用,密封性更好

標配清洗托盤,方便使用

安捷倫Agilent幹泵(選配),避免油氣汙染

OF-20油汙過濾器(選配),避免排氣口油氣對實驗室環境的汙染

04經典清洗案例分析

石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末雜質和油質,增加石墨烯表麵親水基團(-OH)提高親水性

金屬工件油汙等離子清洗,不損傷樣品,去除表麵油汙

PDMS等離子活化改性,提升親水性和鍵合力

ITO導電玻璃親水性處理並提高其功函數

二維材料的清潔、刻蝕

矽片親水性處理,改性、活化表麵

05石墨烯粉末VP-R3親水性處理XPS譜圖分析

處理前石墨烯粉末溶於蒸餾水,會粘在瓶壁上

處理後石墨烯粉末上下搖勻後,不會粘在瓶壁

處理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底,肉眼可見分層明顯

處理後石墨烯粉末懸浮在水體,說明其親水性增強

綠色曲線為處理前的XPS譜圖,曲線一直都是平穩走向

紅色曲線為處理後的XPS譜圖,曲線在285eV左右有個峰值,

可知石墨烯粉末的性質已改變

處理後石墨烯導熱率可提高40%,穩定性增強

06 ITO導電玻璃等離子VP-R3處理接觸角測量儀分析

CM-180接觸角測定可知,未處理ITO接觸角為80°C,處理後ITO接觸角48°C,親水性明顯增強

處理前平均接觸角、右接觸角和左接觸角三條曲線分離,處理後三條曲線重合,說明ITO表麵更平整

VP-R係列滿功率運行30分鍾腔體溫度低於32°C,非常適合ITO導電玻璃不耐熱屬性

通入氧等離子體時,可以提高ITO導電玻璃的功函數


VP-R係列真空等離子清洗機技術規格

 

型號

VP-R手動版

VP-R3

VP-R5

VP-R10

腔體材質

石英玻璃

腔體容量

2L

3L

5L

10L

內腔尺寸

Φ100x200Lmm

Φ150x200Lmm

Φ150x270Lmm

Φ200x320Lmm

射頻功率

160W/200W(高功率版)

射頻頻率

13.56MHz

RF放射

頻率偏移量

小於0.2KHz

等離子體轟擊

從四周向中間

等離子體激發

延時自動啟動

腔體溫度

滿功率運行30分鍾腔體溫度<32℃

清洗時間

手動設置

0 - 1800S 可調

功率調節

高、中、低三擋

高、中、低三擋可調

顯示屏

4.3寸觸摸屏

操作控製

手動控製

提供中英文操作界麵,觸摸屏控製(設置清洗時間)

氣體流量計

高精密2路浮子流量計

提供進氣氣路

一路進氣,進氣可調

兩路進氣,流量 0-300ml/min可調(常用氣體:氬氣,氧氣,氮氣,氫氣,氨氣等其他混合氣體)

進氣管

一根6x4PU管

兩根6x4PU管,尾端配6轉10快擰接頭

泄壓

手動開關泄壓,泄壓速度可調

等離子處理結束,自動泄壓,泄壓時長可調。可提供氮氣或其他氣體泄壓通道(選配)

真空泵極限真空度

5x10⁻²Pa

噪音

≤56dB

抽真空時間

啟動到發出輝光≤35秒(時間可調)

≤55秒(時間可調)

真空檢測

數字顯示

冷卻方式

風冷

腔體門

帶可視窗鋁合金

傳感器識別開/關,帶可視窗高強度鋁合金

真空泵控製

主機與真空泵聯動

主機與真空泵自動聯動並可在觸摸屏上控製真空泵開啟/關閉

供電電源

AC220V/50Hz

箱體平衡

減震橡膠腳杯

外形尺寸(LxWxH)

420x420x320mm

560x450x360mm

650x500x475mm

訂購信息

標準配置

主機、真空泵、1.5米波紋管、兩路/一路(手動版)進氣管、清洗托盤、六角工具、說明書、合格證、保修卡

選配件

1、油汙過濾器 2、高硼矽圓形托盤 3、幹性真空泵(防止油氣揮發,高潔淨實驗室適用)



 

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